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超純水設備根據工業所需水電阻率來確定水處理工藝流程，該純水設備主要采用預處理、反滲透技術、超純化處理以及后級處理等方法，其水處理工藝流程如下：
其主要目的在于除原水中含有的泥沙，鐵銹、膠體物質、懸浮物、色度、異味、生化有機物，其原水預處理系統由石英砂過濾器、活性碳過濾器、全自動軟水器、精密過濾器組成。
原水→原水加壓泵→多介質過濾器→活性炭過濾器→軟水器→精密過濾器→陽樹脂過濾床→陰樹脂過濾床→陰陽樹脂混床→微孔過濾器→用水對象。
原水→原水加壓泵→多介質過濾器→活性炭過濾器→軟水器→精密過濾器→一級反滲透→PH調節→中間水箱→二級反滲透→純水箱→純水泵→微孔過濾器→用水對象。
原水→原水加壓泵→多介質過濾器→活性炭過濾器→軟水器→精密過濾器→一級反滲透主機→中間水箱→中間水泵→EDI系統→微孔過濾器→用水對象。
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